16 апреля, когда кран медленно поднимался, первое бытовое оборудование для очистки плавиковой кислотой (HF Cleaner), независимо разработанное и произведенное компанией Suzhou Jingzhou Equipment Technology Co., Ltd., было поднято на стыковочную платформу со стороны клиента, а затем вставлено в платформу. фабрика. , въехал плавно.
Очистка плавиковой кислотой является ключевым звеном в процессе экспонирования. Его очищающий эффект напрямую влияет на конечные характеристики, эффективность и стабильность конструкции устройства и связан с выходом конечного продукта. Очистка плавиковой кислотой не только удаляет загрязнения с поверхности активного слоя, но и пассивирует поверхность, тем самым снижая адсорбционную способность интерфейсных примесей. Требования к чистоте поверхности очень строгие и теоретически не допускают присутствия каких-либо частиц, ионов металлов или органических клеев. Прикрепленные слои водяного пара и оксидов требуют ровности поверхности на атомном уровне, чтобы обеспечить надежность процесса последующей обработки.
Время публикации: 13 мая 2024 г.